派瑞林鍍膜在半導(dǎo)體技術(shù)上的應(yīng)用 -深圳方寸達科技

發(fā)布日期:2025/6/4 10:51:15發(fā)布人：深圳方寸達科技有限公司

派瑞林（Parylene）鍍膜技術(shù)是一種獨特的真空氣相沉積工藝，能在室溫下形成超薄、均勻、無針孔的聚合物保護層（類型包括Parylene F、AF4、派瑞林C、熒光粉等）。派瑞林鍍膜在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用至關(guān)重要，主要體現(xiàn)在以下幾個方面：

半導(dǎo)體技術(shù)中的應(yīng)用

(1) 芯片級防護

防潮與防腐蝕：
Parylene膜具有極低的水汽透過率（<0.1 g·mm/m²/day），可有效隔絕濕氣、酸堿和鹽霧，保護敏感半導(dǎo)體器件（如傳感器、MEMS）免受環(huán)境侵蝕。
絕緣性能：
介電強度高（>5000 V/μm），用于晶圓或芯片表面的絕緣層，防止短路或漏電。

(2) MEMS器件保護

機械保護：
超?。?.1–50 μm）且保形性（Conformal Coating）極佳，能均勻覆蓋MEMS的復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)（如陀螺儀、微鏡陣列），避免機械磨損或顆粒污染。
釋放層輔助：
在MEMS犧牲層蝕刻過程中，可作為臨時保護膜或防粘層。

(3) 晶圓級封裝（WLP）

臨時性鍍膜：
在晶圓切割或研磨過程中，Parylene可作為臨時保護層，防止劃傷或污染，后續(xù)通過熱解或等離子體去除。

(4) 生物兼容性應(yīng)用

用于植入式醫(yī)療電子設(shè)備（如神經(jīng)電極）的絕緣涂層，符合生物相容性要求（如ISO 10993認證）。

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